Список технических параметров многослойной машины оптического покрытия

Модель

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Размер комнаты покрытия

1050 * 1250304 Отяжающаяся сталь.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Размер полости с покрытием

Поддержка приспособления с земли 1680 мм, подходящая для работы человеческой техники.

Поддержка приспособления с земли 1468 мм, подходящая для работы человеческой техники.

Поддержка приспособления с земли 1510 мм, подходящая для работы человеческой техники.

1 тип Arch Single Work, в большей степени для удовлетворения потребностей клиентов в отношении единообразия. Вращение 5-30R/мин, беспрепятственное изменение скорости.

2 Пластина заготовки Три типа, ротация планеты, в большей степени для удовлетворения потребностей клиентов в производстве. Вращение 5-30R/мин, беспрепятственное изменение скорости.

Приспособление для инструментов

Для четырех элементов угол кронштейна в большей степени регулируется для удовлетворения потребностей клиентов. Вращение 5-30R/мин, беспрепятственное изменение скорости.

Арк типа единичная работа, в большей степени для удовлетворения потребностей клиентов для единообразия. Вращение 5-30R/мин, беспрепятственное изменение скорости.

Арк типа единичная работа, в большей степени для удовлетворения потребностей клиентов для единообразия. Вращение 5-30R/мин, беспрепятственное изменение скорости.

вакуумная система

Блок: диффузионный насос Dip-12000 (Lai Bao), ZJY-300 2x-70 корни, механический насос, обслуживание насоса 2x-8. Труба для 304 нержавеющей стали.

Блок: диффузионный насос KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70 корни, механический насос, обслуживание насоса 2x-8.

Блок: диффузионный насос KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Корни насос, механический насос, обслуживание насоса 2x-8.

Блок: диффузионный насос KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Корни насос, механический насос, обслуживание насоса 2x-8.

Ultimate Vacuum: лучше, чем 4 x pa 10-4.

Конфигурация оборудования против турбулентности, проектирование блокировки безопасности, ручное, автоматическое необязательное.

Отопительная система

Нагревательная труба в режиме нагрева, управление пидом, самый высокий 350 C + 1,5.

Газовая инфляция

Инструмент управления массовым потоком газа или клапан ручной регулировки зарядки.

Вакуумная ионизационная бомбардировка

DC 3KV, катод стержня 06 кВт (для покрытия перед самостоятельной очисткой заготовки).

Источник испарения (необязательно)

1 Телемарк-270 Электронный пистолет (импорт), 6 кВт, высокое давление 4 кВ-10 кВ. Сканирование, сканирование, круговое сканирование и спиральное сканирование. В центре внимания балки хорошее, точность позиционирования высока, а воспроизводимость хороша.

2 домашний электронный пистолет (Zhen Hua): 6 кВт, высокое давление 4 кВ ~ 8 кВ, может свободно выбрать треугольную волну, синусоидальную волну, квадратное сканирование.

3: Красимое для шести отверстий Phi 38 * 20 или четыре отверстия Типичный Phi 38 * 20 плюс 87 -точечный центральный дуг ARC Crucible (для большого количества материалов испарения с низкой точкой плавления) или четыре очка с 48 x 18 тиглевыми.

Ионный источник (необязательно)

1 RF (радиочастотная) Ионный источник (импорт).

2 5 кВА -ионный источник Holzer (Zhen Huachan), используемый для гальванизации перед процессом очистки или покрытия для помощи, способствует улучшению показателя преломления пленки, устойчивости, улучшения плотности пленки, адгезии.

Система управления толщиной пленки (выбор)

1. MDC-360 Устройство управления кристаллом (импортированное) может сохранить 1 ~ 99 Процесс автоматического покрытия уровня, 99 видов данных программы, точность 0,5%+1 Фиксированная ошибка. 2telemark-880 Устройство управления кристаллом (импортировано): может сохранить 1-99 слоев процесса автоматического покрытия, 99 видов данных программы. Точность 0,5%+1 Фиксированная ошибка.

3. Telemark-820 Photocontroller (импорт): полный конец спектра с использованием технологии анализа многоволновой длины, посредством передачи мониторинга 370-870 мм (или анализа кривой отражения), чтобы определить конец пленки. Точность управления высокой, а контроль длины одной волны, автоматическое управление и ручное управление можно использовать. Дополнительное программное обеспечение для расчета мембранной системы, высокая степень интеграции.

4. Telemark-820 Light Controller с контроллером Telemark-880 может соответствовать кристаллической пленке с высокой точностью и требованиями высокой повторяемости. С хост -компьютером может реализовать автоматическое управление.

5 домашний фотоконтроллер (например, тип 9704, поддерживающий длина волны монохроматора 330 ~ 870 и т. Д.) Регулируемая точность может достигать 1,5 нм.

Устройство ручной работы

С магнитной основой можно помещать в дверь вакуумной камеры и управляющее шкаф.